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固然 ASML 方面已确认将在 2024 年外向台积电托付 High-NA EUV 光刻机，但这一机台仅用于制程开辟目标
固然 ASML 方面已确认将在 2024 年外向台积电托付 High-NA EUV 光刻机，但这一机台仅用于制程开辟目标。
据台媒《工商时报》报导，台积电将在 2024~2025 年领受超 60 台 EUV 光刻机，而其今明两年在 EUV 光刻机上的投入将超 4000 亿新台币(IT之家备注：当前约 896.61 亿元群众币)。
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按照台积电官方道路图，其今朝已计划的开始进工艺 16A 将于 2026 年量产，仍接纳传统 0.33NA EUV 光刻机科技之家官网。换句话说，台积电暂未思索在量产制程中导入 High-NA。
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台积电今明两年将别离下达约 30 和 35 台的 EUV 光刻机定单，这些定单中的大部门将从 2026 年开端托付。
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报导暗示，ASML 的 EUV 光刻机今朝供给慌张，从下单到托付的团体周期已达 16~20 个月。
台媒也暗示，台积电暂无在 2025~2026 年引入量产用 High-NA EUV 光刻机的计划。
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